空氣潔凈度是對精密產(chǎn)品質量保證的重要手段

空氣潔凈度是對精密產(chǎn)品質量保證的重要手段
　　隨著現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展，對實驗、研究和生產(chǎn)的環(huán)境要求越來越高，因而調節(jié)空氣品質的技術——空氣調節(jié)技術的內容也隨之逐步擴大。現(xiàn)代空調技術不僅包含調節(jié)空氣的溫度、濕度和速度的概念，而且還包含了調節(jié)其潔凈度、壓力以及成分、氣味的概念。
　　現(xiàn)代化的科學實驗和生產(chǎn)活動對空氣潔凈度的要求是從下述四方面提出來的：
　　1、 加工的精密化。
　　現(xiàn)代產(chǎn)品的加工精度已經(jīng)進入亞微米量級，而且正在向更小的量級發(fā)展：利用分子束外延技術已可按一個一個原子層來生長單晶材料；利用離子束刻蝕技術也可以對半導體材料進行一個一個原子的刻蝕剝離等等。因此，科學界提出了在本世紀末可能進行原子級加工的設想，即加工的幾何圖形寬度可以小到幾個原子的線度。
　　2、 產(chǎn)品的微型化。
　　原來體積為幾千立方厘米的電子裝配件，現(xiàn)在縮減到零點幾立方厘米，其中：集成電鍍的圖形距已小到不足1um，一個電子元件的二氧化硅保護膜厚0.5um，光致抗蝕劑厚度只有0.2um，而各層甚至只有0.03um。
　　3、 產(chǎn)品的高純度(或高質量)。
　　由過去認為很純的“化學純”進入今天“電子純”、“超純”時代的藥品、試劑，以及各種超純材料，都是在高純度基礎上才能使原料充分發(fā)揮其固有特性或者呈現(xiàn)出新的特性。
　　4、 產(chǎn)品的高可靠性。
　　高可靠性對于電子化、自動化時代的產(chǎn)品，對于確保人的安全的無菌操作，對于分子生物學的遺傳工程都有特殊重要的意義。
　　顯然，在上述四種情況下，如果有微粒進入產(chǎn)品，這種微粒就可能構成障礙、短路、雜質源和潛在缺陷。上述四種要求越高，則允許存在于環(huán)境空氣中的微粒數(shù)量越少，也就是潔凈程度越高。因此，潔凈技術已成為科學實驗和生產(chǎn)活動現(xiàn)代化的標志之一。同時也是保證精密產(chǎn)品質量的重要手段。